Универсальные крионасосы серии Marathon® CP специально разрабатывались для использования в высоковакуумных применениях: от лабораторного оборудования до промышленных установок. Инновационная конструкция обеспечивает высочайшие характеристики в сочетании с доступной стоимостью.
Используя дополнительно специальный контроллер MCC (Marathon Cryopump Controller), можно полностью автоматизировать управление крионасосом посредством команд с управляющего компьютера через стандартных протокол крионасоса. Как результат – значительное снижение времени межоперационных интервалов, уменьшение времени технологических циклов, а также общее повышение эффективности технологического процесса. Но самое важное, что при использовании контроллера MCC можно уменьшить время захолаживания.
Компактная и простая конструкция насосов Marathon® CP позволяет легко встраивать их в новые и существующие вакуумные установки. Возможность производить сервисное обслуживание на месте значительно экономит затрачиваемые на это время и средства, т.к. не требуется демонтаж насоса и разгерметизация вакуумной системы и камеры. Это позволяет значительно сократить время восстановительных работ и снизить эксплуатационные затраты.
Модель насоса | CP-8 | CP-8LP | CP-250LP | CP-12 | CP-16 | CP-20 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Присоединительный фланец, Ду | 200 | 250 | 320 | 400 | 500 | ||
Скорость откачки, л/c | По воздуху | 1500 | 1800 | 3000 | 3600 | 4800 | 9700 |
По воде | 4200 | 6300 | 9560 | 17300 | 29100 | ||
По аргону | 1250 | 1500 | 2500 | 3100 | 4100 | 8300 | |
По водороду | 2300 | 3000 | 5000 | 7300 | 12000 | 14000 | |
Максимальный поток аргона, торр·л/с | 11,0 | 12,6 | 11,4 | 11,3 | |||
Емкость, стандартные литры | Аргон | 1200 | 1600 | 2000 | 5500 | 6000 | |
Водород | 25 | 23 | 30 | 50 | 33 | ||
Параметр запуска, торр·л | 220 | 300 | 650 | 500 | 400 | ||
Время захолаживания, мин | 75 | 110 | 90 | 135 | 190 | ||
Масса, кг | 16,8 | 17,9 | 20 | 41 | 50 | 77 | |
Компрессор | ZephyrTM | * | |||||
HC-4E1 | * | ||||||
HC-8E4 | * | ||||||
F-70 | * |