Установки Pinnacle® Plus со встроенным импульсным источником обеспечивает все преимущества импульсной подачи постоянного тока для ваших реактивных процессов в одном корпусе, что дает дополнительные преимущества - легкость использования, оптимизацию затрат и гибкость применения. Комбинация источников постоянного тока и импульсного тока, запатентованной фирмой Advanced Energy, Pinnacle® Plus обеспечивает высокие скорости осаждения, отличную повторяемость, а также уникальную равномерность получаемых пленок, особенно по сравнению со сложными и дорогими системами переменного тока. Модель выпускается с локальным или удаленным управлением, с одним выходом 5 или 10 кВт, а также с двумя выходами по 5 кВт каждый.

Преимущества использования Pinnacle Plus:

• Высокие скорости осаждения и процент выхода годных устройств
• Лучшая равномерность и качество пленок
• Низкие затраты
• Легкая системная интеграция
• Отличная гибкость в применении
• Повторяемость процессов
• Стабильность при применении
• Высокая производительность
• Удобный мониторинг и управление

Возможности Pinnacle Plus:

• Концепция "все в одном"
• Диапазон частот от 5 до 350 кГц
• Изменяемое время одного цикла (до 45%)
• Широкий диапазон напряжений
• Работа с высокой мощностью
• Малый нагрев подложек
• Прекрасный контроль дуги
• Источники с двумя выходами для многокамерных систем

http://www.advanced-energy.com/en/Pinnacle_Plus.html