MDX Series 500

MDX 500 разработан для продолжительного и интенсивного использования в вакуумных процессах напыления, обеспечивая многоуровневое подавление и пресечение различных типов дуг при питании магнетронов. Это самый распространенный тип источников питания для магнетронного напыления постоянного тока с ВЧ смещением и напыления ВЧ тока с ПТ смещением. Небольшой размер отлично подходит для лабораторий и НИОКР.

Преимущества использования MDX 500:

• Встроенная защита от перегрузок
• Надежность и удобство обслуживания
• Быстрый отклик

Возможности MDX 500:

• Многоуровневое подавление и пресечение различных типов дуг
• пользовательское управление I/O
• Может использоваться как источник мощности, силы тока, напряжения

http://www.advanced-energy.com/en/MDX_Series_500_Watt.html

MDX Series 1 кВт и 1,5 кВт

Точная регулировка, отличное пресечение дуг, низкая накопленная энергия делает семейство источников питания MDX лидером среди конкурентов. Разработанные для продолжительного и интенсивного использования в вакуумных процессах, источники MDX часто используются как источники ПТ для магнетронов. Помимо этого MDX можно использовать как точный источник ВЧ мощности смещения в установках травления и магнетронного напыления. Компактный дизайн - отличный выбор для лабораторий.

Преимущества использования MDX 1/1,5 кВт:

• Точные регулировки
• Повышенный выход годных устройств
• Уменьшенное время для подготовки мишени
• Высокая надежность
• Легкий уход и замена

Возможности 1/1,5 кВт:

• Низкая накопленная энергия
• Низкие колебание выходного тока
• Выставляемое время подавления дуги
• Компактный размер
• Высокая эффективность
• Может использоваться как источник мощности, силы тока, напряжения
• Передняя панель управления и аналоговый интерфейс управления
• Полный спектр защитных систем

http://www.advanced-energy.com/en/MDX_Series.html