Каталог вакуумного оборудования

Активный ионизационный датчик BARION® XS c горячим катодом с системой Баярда-Альперта от фирмы VACOM

Активный ионизационный датчик BARION® XS c горячим катодом с системой Баярда-Альперта от фирмы VACOM. Это высоковакуумный датчик работающий в диапазоне низких давлений 5•10-10 … 5•10-2 мбар (абс.) применяемый в процессах, где не требуется измерения высокого давления ближе к атмосфере. Ионизация молекул остаточного газа происходит при столкновении электронов ускоренных разностью потенциалов между горячим катодом и анодом полученных при помощи термоэлектронной эмиссии. Отсутствие сильных магнитов позволяет использовать датчики в устройствах требовательных к магнитным полям. Система Баярда-Альперта позволяет добиться хорошей линейности между ионным током молекул остаточного газа и измеряемым давлением в широком диапазоне. Это происходит за счет существенного снижения рентгеновского излучения при помощи. На датчике установлен маленький переключатель позволяющий, переключаться между 1 и 2 катодом, на случай если 1 катод выйдет из строя. Преимущества активного датчика заключается в том, что моноблочная комбинация преобразователя давления (вакуумная трубка или головка с электродами) с блоком измерительной электроники дает возможность использовать датчик без дисплея или контроллера подключая его к системе автоматизации всей вакуумной установки, которая в свою очередь питает датчик и после оцифровывает выходной сигнал напряжения с датчика 0...10 В постоянного тока. Функция пересчета представлена простой математической зависимостью p = 10(U-10) [мбар].

Свойства

  • Вакуумный измерительный прибор для вакуумных установок с компьютерной поддержкой
  • Линейно-стационарный аналоговый выход 0…10 В
  • Встроенная функция дегазации
  • Защита датчика благодаря автоматическому отключению при избыточном давлении
  • Легко сменяемый сенсор с горячим катодом

Преимущества

  • Надёжность
  • Короткое время реакции
  • Низкая стоимость
  • С резервным катодом (филаментом)

 
Название характеристики Значение
Диапазон измерений 5•10-10…5•10-2 мбар

5•10-8…5 Па

3,75•10-10…3,75 • 10-2 Торр
Принцип измерения накаливаемыe катоды – ионизационный преобразователь (Bayard-Alpert)
Точность ± 20 % от величины измерения
Воспроизводимость ± 5 % от величины измерения
Аналоговые выходы линейно-стационарный, 0…10,5 В , (1 В на каждую декаду)

(0 В: 1•10-10 мбар; 8 В: 1•10-2 мбар; > 9 В: IG off)
Показания ошибок Статус-LED
зелёный: IG on
зелёный мигающий: дегазация
красный: рабочее напряжение подключено, IG off
Диапазон рабочей температуры 5…45 °C
Макс. температура нагрева 80 °C на фланце
Положение при монтаже любое
Автоматическое переключение ионизационного датчика Автоматическое выключение при:

5•10-2 мбар (низкая эмиссия)

1•10-3 мбар (высокая эмиссия)

3•10-4 мбар (дегазация)
Филаменты (катоды) Y2O3 с иридиевым напылением
Количество филаментов 2
Рабочий модус филаментов Перекидной выключатель для выбора филаментов, электронный выбор тока эмиссии
Электронно-импульсная дегазация Продолжительность цикла дегазации 2 мин. / 4 Вт
Материалы, соприкасающиеся с откачиваемой средой нержавеющая сталь 304 и 316L, стекло, W, Y2O3 на Ir, NiFe
Корпус Электроника: алюминий, Измерительная головка (датчик):нержавеющая сталь
Габаритные размеры длина 99 мм, ширина 73 мм, высота 66 мм
Энергопитание 24 Вольт (постоянного тока), 12 Вт макс. (SELV)
Электрическое подключение D-Sub 9-пин Тип папа (DC in, аналоговый выход, цифровые входы (вкл/выкл датчика, старт дегазации, высокая эмиссия вкл/выкл), цифровые выходы (статус датчика, статус дегазации)
Фланцевое соединение DN16KF, DN25KF

Производитель сохраняет за собой право производить технические изменения.

Информация для заказа

Номер артикулаНаименованиеВакуумное соединение
BAX16KАктивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом BARION® XSDN16KF
BAX25KАктивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом BARION® XSDN25KF

Принадлежности

Номер артикулаНаименованиеВакуумное соединение
BAX16K-GИзмерительная головка для BARION® XSDN16KF
BAX25K-GИзмерительная головка для BARION® XSDN25KF

Совместимые контроллеры: VMG, MVC3-B(M) от фирмы VACOM


Пересчитать
x