Вакуумные инверсно-магнетронные датчики AIM – это датчики с холодным катодом, предназначенные для измерения давления в диапазоне от 10-2 мбар до 10-9 мбар. Они обладают высокой надежностью и чрезвычайно компактны.
Инверсно-магнетронные датчики AIM производятся в четырех исполнениях: “S”, “SL”, "X" и "XL".
Диапазон измерений датчиков версий “X” и “XL” увеличен в области глубокого вакуума (см. ниже), а выходной сигнал – линейный. Датчики версий “S” и “SL” имеют слабое внешнее магнитное поле и могут использоваться вместе с чувствительным оборудованием. На инверсно-магнетронных датчиках AIM имеется потенциометр, с помощью которого можно задать необходимые предустановки.
Название характеристики | Значение |
---|---|
Диапазон измеряемых давлений AIM-S/SL AIM-X/XL |
10-2 - 10-8 мбар 10-2 - 10-9 мбар |
Относительная погрешность | ±30% |
Максимальное избыточное давление | 10 бар (абс) |
Напряжение питания | +13,5 – +36 В постоянного тока (пульсация: 1 В максимум) |
Потребляемая мощность | 2 Вт |
Выходной сигнал | 2 – 10 В постоянного тока номинальный |
Задание предустановок (блокировок) | Коллектор транзистора открыт |
Максимальное напряжение | 40 В постоянного тока |
Ток | 100 мА |
Температурный диапазон | |
Рабочая температура | +5 – +60°C |
Температура хранения | 0 – +70°C |
Температура прогрева (только для датчиков с измерительной трубкой DN40CF) | 300°C (при снятом электронном блоке) |
Материалы, контактирующие с вакуумом | |
NW25 | Нержавеющая сталь (AISI 304, 316, 347) Флуороэластомер, стекло |
DN40CF | Нержавеющая сталь (AISI 304, 306, 347), медь, керамика |
Внутренний объём | 26 см3 |
Вес NW25 DN40CF |
0,81 кг 1,09 кг |
Внешний интерфейсный разъём | 8 контактный FCC68/RJ45 |
Вакуумные присоединения | NW25 или DN40CF |