Новая серия высоковакуумных насосов EPX обеспечивает откачку с атмосферного давления до уровня 10^-4 Па без существенных ограничений по длительности откачки с атмосферы, заменяя собой пару форвакуумный + турбомолекулярный насос использовавшуюся ранее для достижения подобного уровня вакуума.

Компактный дизайн, минимальные энергетические затраты, возможность установки в помещения классов чистоты до ISO5 обеспечивают широкую возможность применения данной серии в полупроводниковой промышленности от устройств загрузки-выгрузки и шлюзовых камер до технологических процессов напыления, плазменного удаления фоторезиста, плазменного травления диэлектрических и поликремниевых слоев, ионной имплантации и других научно-исследовательских целях.

Функциональные особенности систем:

• Максимальная компактность вакуумной системы для производителей технологического оборудования;
• Полное отсутствие возможности загрязнения откачиваемого объема обеспечивается вследствие отсутствия в насосах данной серии элементов требующих жидкой смазки;
• Наличие встроенной функции «спящий режим» обеспечивает максимальное энергосбережение.
• Управление:
• посредством встроенного модуля с дисплеем (E - модель);
• с основного технологического оборудования посредством интерфейсного модуля;
• по Ethernet.
• Газобалластный модуль (N-модель) существенно расширяет область применения насосов данной серии;
• Подтвержденное среднее время наработки на отказ не менее 13 лет - максимально экономичная модель для подобного рода устройств.

Модель	Производительность м3/час (л/c)	Предельный вакуум Па (Торр)	Продувка (л/мин)
EPX180L	175 (48,6)	<1*10-2 (7,0*10-5)	-
EPX180N			25
EPX500L	500 (138,8)	<1*10-4 (7,0*10-7)	-
EPX500N			25