Каталог вакуумного оборудования

Вакуумные датчики Пирани APG200

Вакуумные датчики Пирани APG200 предназначены для работы в диапазоне давлений от атмосферного до 10-4 мбар. Они работают по принципу передачи тепла от нити накаливания, которая нагревается проходящим через нее электрическим током, к окружающему газу.

Датчики Пирани серии APG200 подходят для всех современных вакуумных приложений, таких как производство полупроводниковой продукции и солнечных батарей, процессов нанесения покрытий, промышленных применений, научных исследований и разработок, а так же аналитических приборов.

Успех применения вакуумных датчиков Пирани серии APG100 побудил компанию Edwards к выпуску новой серии APG200, отличительной особенностью которой, в том числе, является гибкость за счет расширенного диапазона опций и интерфейсов.

В основе датчиков APG200 лежит таже измерительная ячейка, что и в датчиках APG100, которая многолетним опытом эксплуатации подтвердила свою надежность. Вместе с тем, в датчиках серии APG200 увеличена длина нити накаливания, что обеспечивает более высокую чувствительность датчика и лучший отклик в приграничных частях диапазона измерения.

По сравнению с серией APG100, датчики серии APG200 на 25% более компактны и оснащены кольцевым световым индикатором, который позволяет легко визуально определять величину давления в вакуумной системе. Индикация давления вдали от системы автоматизации или показывающих приборов происходит следующим образом: в диапазоне давления от 1000 до 50 мбар – кольцевой индикатор мигает каждые 1,5 секунды, от 50 до 1 мбар каждые 0,75 секунды, а при достижении давления менее 1 мбар – свечение индикатора становится постоянным.

Датчики серии APG200 отличаются самым широким (из представленных на рынке в настоящее время) диапазоном напряжения питания 15-48 В. При этом наличие в серии датчиков как с аналоговым, так и цифровым выходным сигналом, а так же большое количество вариантов выходного напряжения (согласованные выходы) и интерфейсов связи позволяет подобрать прибор идеально подходящий к системе управления заказчика, без необходимости изменения ПО для обеспечения совместимости компонентов.

В зависимости от выбранного типа связи датчики серии APG200 могут либо напрямую подключаться к системе управления заказчика – датчики с цифровым или аналоговым выходным сигналом и 9-контактным разъемом D-Sub, либо подключаться через совместимый внешний контроллер TIC, TAG или ADC – датчики с аналоговым выходным сигналом и разъемом RJ45 (FCC68). При этом для датчиков с цифровым выходным сигналом доступны драйверы для ПО LabView, что упрощает интеграцию датчиков в систему заказчика.

Датчики серии APG200 поставляются без, с одним или парой твердотельных реле, позволяющих задавать точки уставок для автоматизированной работы системы откачки.

Серия APG200 включает датчики с расширенным типоразмерным рядом вакуумных соединений: фланцы стандарта ISO-KF с номинальным диаметром 16 и 25 мм, фланцы стандарта ConFlat с номинальным диаметром 16 мм, резьбовое соединение NPT 1/8'', соединение торцевого типа 4VCR и 8 VCR, и трубное соединение ½ OD.

Обратная совместимость вакуумных датчиков серии APG200 с вакуумметрами Пирани других производителей позволяет легко переходить на датчики APG200 без дополнительной настройки системы заказчика.

Датчики серии APG200 производятся в трех версиях:

  • версия «М» – стандартная версия, предназначена для измерения давления в диапазоне 1000 -5·10-4 мбар и работы с неагрессивными средами.
  • версия «МР» – коррозионостойкая версия, предназначена для измерения давления в диапазоне 1000 - 5·10-4 мбар и работы с коррозионно-активными средами. По сравнению с версией LC обладает большей точностью в диапазоне давлений от 100 до 10 мбар.
  • версия «LC» – коррозионностойкая версия с увеличенным диапазоном измерения, предназначена для измерения давления в диапазоне 1000 - 1·10-4 мбар и работы с коррозионно-активными средами.

Серия датчиков APG200 отличается большей гибкостью, поскольку для каждой версии датчика APG200 доступен выбор количества точек уставок, типоразмера вакуумного соединения, типа выходного сигнала и разъема электрического подключения. Таким образом, можно подобрать измерительный прибор, идеально подходящий под нужды заказчика и легко интегрируемый в существующую вакуумную систему без необходимости обновления программного или аппаратного обеспечения.

Матрица формирования артикула датчика серии APG200 приведена ниже. Специалисты компании «Интек Аналитика» проконсультируют Вас при возникновении затруднений в подборе модели датчика APG200 и уточнят информацию о его технических характеристиках.

Матрица артикулов вакуумного датчика APG200

На входе измерительной трубки датчиков серии APG200, так же как в датчиках серии APG100, установлен фильтр-сеточка, препятствующий попаданию загрязнений внутрь измерительной трубки и снижающий турбулентность газового потока.

Датчики серии APG200, в отличии серии APG, легко обсуживаются за счет простой замены измерительной трубки и блока электроники.

Для заказа доступны все модели датчиков серии APG200 c калибровкой завода-изготовителя. Также датчики APG200 могут быть калиброваны в аккредитованных лабораториях Российской Федерации.

По вопросам сервисного облуживания, приобретения запасных частей, а так же калибровки датчиков серии APG200 просим обращаться к нашим специалистам.

Достоинства

  • Легко читаемый световой индикатор;
  • Более длинная нить накаливания;
  • Широкий модельный ряд вакуумных соединений: NW16, NW25, DN16CF, 1/8'' NPT, 4VCR, 8 VCR, трубное соединение ½ OD;
  • Широкий диапазон напряжений питания 15-48 В;
  • Серия включает датчики, как с аналоговым, так и цифровым выходным сигналом;
  • Интегрированный фильтр-сеточка на входе;
  • Возможность задания предустановок;
  • Обратная совместимость с датчиками Пирани других производителей;
  • Компактность.

НАЗВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИЗНАЧЕНИЕ
Диапазон измеряемых давлений
APG200 М, APG200 MP
APG200 LC

Атмосфера – 5·10-4 мбар
Атмосфера – 1·10-4 мбар
Относительная погрешность±50% (при давлении от атмосферы до 100 мбар)*
±15% (для версий М и МР при давлении от 100 до 1·10-3 мбар, для версии LC при давлении от 10 до 1·10-3 мбар)
±50% (при давлении от 1·10-3 до 5·10-4 мбар)
Повторяемость2% от показаний (при давлении от 100 до 1·10-3 мбар)
Напряжение питания15-48 В пост. тока
Протокол связи**аналоговый выходной сигнал 0-10 В
цифровой выходной сигнал RS232
цифровой выходной сигнал RS485
Электрический разъемRJ45 или 9-pin D-sub для датчиков с аналоговым выходом
9-pin D-sub для датчиков с цифровым выходом
Количество точек уставок**0, 1 или 2
Выходной сигнал**0-10 В пост. тока линейный
1,9-10 В пост. тока линейный
2,2-8,5 В пост. тока линейный
1,875-8,875 В пост. тока линейный
S-образная кривая
Реле уставки48 В пост. тока, 500 мА
Индикатор состояниясветодиодное кольцо
Длина кабеля100 м (макс.)
Избыточное давление10 бар (макс.)
Рабочая температура5-60 °С
Температура хранения-30-70 °С
Температура прогревамакс. 150 °С (при снятом электронным блоке)
Влажность воздухаотносительная 80% вплоть до 31 °C и линейно убывающая до 50% при 40 °C и выше
Материалы, контактирующие с вакуумомнержавеющая сталь 304L и 316L, стекло, никель, железо-никелевый сплав, коррозионностойкая сталь 302S26;
материал нити:
APG200 М – сплав вольфрам-рений
APG200 MP – сплав платина-родий
APG200LC – сплав платина- иридий
Внутренний объем3,3 см3
Масса0,13 кг (для версии с фланцем NW16)
Габаритные размерычертеж
Класс защиты корпусаIP40
Присоединение к вакуумной системе**NW16, NW25, DN16CF, 1/8'' NPT, 4VCR, 8 VCR, трубное соединение ½ OD
Защита от загрязненийметаллический фильтр-сеточка на входе в измерительную трубку датчика
Совместимость с контроллерамиTIC, TAG, ADC
Программное обеспечениедрайверы для LabVIEW
*для версии LC при давлении от атмосферы до 10 мбар
** в зависимости от модели датчика

Соответствие моделей новой серии датчиков Пирани APG200 и моделей предыдущих серий APGX, APG,APG100 приведено в таблицах ниже.

APG100APG200
D02601000APG100-XM linear Pirani gauge NW16D1G1011100APG200-XM-NW16
D02602000APG100-XM linear Pirani gauge NW25D1G1021100APG200-XM-NW25
D02603000APG100-XLC linear Pirani gauge NW16D1G2011100APG200-XLC-NW16
D02604000APG100-XLC linear Pirani gauge NW25D1G2021100APG200-XLC-NW25
D02605000APG100-M Non-linear Pirani gauge NW16D1G1011150APG200-M-NW16
D02606000APG100-M Non-linear Pirani gauge NW25D1G1021150APG200-M-NW25
D02607000APG100-LC Non-linear Pirani gauge NW16D1G2011150APG200-LC-NW16
D02608000APG100-LC Non-linear Pirani gauge NW25D1G2021150APG200-LC-NW25
D02609000APG100-MP Non-linear Pirani gauge NW16D1G3011150APG200-MP-NW16
D02609100APG100-MP Non-linear Pirani gauge NW25D1G3021150APG200-MP-NW25
APGAPG200
D02171000APG-M-NW16 ALD1G1011150APG200-M-NW16
D02172000APG-M-NW25 ST/STD1G1021150APG200-M-NW25
D02174000APG-L-NW25 ST/STD1G2021150APG200-LC-NW25
D02175000APG-M-NW16 ST/STD1G1011150APG200-M-NW16
D02176000APG-M 15 mm O.D. ST/STD1G1081100APG200-XM-Bare Tube
D02177000APG-L-NW16 ST/STD1G2011150APG200-LC-NW16
D02178000APG-L 15 mm O.D. ST/STD1G2081100APG200-XLC-Bare Tube
D02182000APG-MP-NW25 ST/STD1G3021150APG200-MP-NW25
D02185000APG-MP-NW16 ST/STD1G3011150APG200-MP-NW16
D02186000APG-MP 15 mm O.D. ST/STD1G3081100APG200-XMP-Bare Tube
D02187000APG-MP-15V-NW16 S/S Active PiraniD1G3011150APG200-MP-NW16
APGХAPG200
D02371000APGX-M-NW16 ALD1G1011100APG200-XM-NW16
D02372000APGX-M-NW25 ST/STD1G1021100APG200-XM-NW25
D02373000APGX-L-NW16 ALD1G2011100APG200-XLC-NW16
D02374000 APGX-L-NW25 ST/STD1G2021100APG200-XLC-NW25
D02375000APGX-M-NW16 ST/STD1G1011100APG200-XM-NW16
D02376000APGX-M 15 mm O.D. ST/STD1G1081100APG200-XM-Bare Tube
D02377000 APGX-L-NW16 ST/STD1G2011100APG200-XLC-NW16
D02378000APGX-L 15 mm O.D. ST/STD1G2081100APG200-XLC-Bare Tube
D02382000APGX-MP-NW25 ST/STD1G3021100APG200-XMP-NW25
D02384000APGX-LT-NW25 S/S Active Linear PiraniD1G2021100APG200-XLC-NW25
D02385000APGX-MP-NW16 ST/STD1G3011100APG200-XMP-NW16
D02386000APGX-MP 15 mm O.D. ST/STD1G3081100APG200-XMP-Bare Tube

Пересчитать
x