Оборудование полупроводниковой промышленности

Oxford Instruments Plasma Technology

Подразделение Oxford Instruments Group, Oxford Instruments Plasma Technology предлагает гибкие системы и передовые технологии для решения задач современного инжиниринга в микроэлектронике, микромеханике, оптоэлектронике, оптике и других областях, где используются микро и нано-технологии. Решения основаны на ключевых технологиях и оборудовании включающих: плазменно-стимулированное травление и осаждение, атомно-слоевое осаждение, ионно-лучевое травление и осаждение, рост нано-структур из газовой фазы.

Линейка технологических установок PlasmaPro включает компактные системы для научных исследований, установки с групповой обработкой или кассетной загрузкой, кластерные системы для организации производств.

Вы можете ознакомится с оборудованием производства Oxford Instruments Plasma Technology в разделе Плазмохимическое травление нашего каталога.


Пересчитать
x