Оборудование полупроводниковой промышленности

Вакуумные насосы

Компания Интек представляет сухие (безмасляные) вакуумные насосы компании Edwards (Великобритания). Компания Edwards имеет почти вековой опыт разработки и производства вакуумных систем и более 50 лет производит системы вакуумной откачки для производителей оборудования микроэлектроники. В настоящее время около 60% оборудования для 300мм производств оборудовано откачными системами Edwards. Практически ежегодно компания выпускает новинки и совершенствует модельный ряд откачных систем для различных применений в этой области, сохраняя доступность сервиса более ранних серий. Представленные серии насосов перекрывают весь возможный диапазон применений в технологических процессах микроэлектроники, устройствах загрузки-выгрузки, исследовательских вакуумных камерах любого объема. В ряду сухих систем откачки имеется серия насосов EPX, не имеющая мировых аналогов, которая совмещает в одном устройстве возможности форвакуумного и турбомолекулярного насоса.

Пересчитать
x