Оборудование полупроводниковой промышленности

Вакуумные ловушки

ЗАО «Интек Аналитика» представляет ловушки компании MassVac для защиты технологического оборудования в тех процессах, где возможна конденсация и образование твердых частиц.

Высокопроизводительные многосекционные ловушки MultiiTrap предназначены для установки на входе и выходе вакуумного насоса. Они предотвращают повреждения оборудования, вызванные образованием в линии конденсата и твердых частиц для процессов:

  • LPCVD;
  • PECVD;
  • ALD;
  • Etch;
  • Ion I mplant;
  • MOCVD;
  • HVPE.


Пересчитать
x