Оборудование полупроводниковой промышленности

Система очистки кварцевых труб


Данный раздел нашего каталога посвящен специальному оборудованию для очистки кварцевых труб используемых в технологическом оборудовании для осаждения и термической обработки в потоках различных газов (на пример диффузии). Одним из результатов таких процессов является осаждение на стенках кварцевых труб, которые используются в качестве реакторов/рабочих камер, различных веществ. В дальнейшем эти вещества могут загрязнять или влиять на результаты обработки полупроводниковых пластин и приборов. Именно по этому такие реакторы требуют периодической очистки стенок. Из-за довольно больших размеров труб (в частности их длины), многоэтапному процессу очистки и высоким требованиям к результатам обработки требуется высокоточное оборудование с точным контролем многих параметров технологического цикла. Всем этим требованиям отвечают модели серии QUARTZ TUBE CLEANER.

Система очистки кварцевых труб QUARTZ TUBE CLEANER®

Особенности:

  • Система горизонтальной очистки кварцевых труб
  • Система вертикальной очистки кварцевых труб
  • Система горизонтальной очистки внутренней поверхности кварцевых труб
  • В случае системы горизонтальной очистки, кварцевые трубы размещаются горизонтально и травятся при вращении. Равномерное травление обеспечивается благодаря плавной регулировке поворотного устройства
  • В случае системы вертикальной очистки, кварцевые трубы размещаются вертикально и травятся. Очищение и ополаскивание осуществляется вращающимися насадками, которые согласно программе дозируют химические вещества и ДИ-воду

Опции:

  • Дополнительная технологическая ванна
  • Дополнительная ванна ополаскивания
  • Автоматический устройство подъем/опускание


Пересчитать
x