Оборудование полупроводниковой промышленности

Конвейрная очистка пластин кремния


Операция очистки полупроводниковых пластин может проводиться десятки раз в течение всего технологического цикла производства, как полупроводниковых пластин, так и приборов на их основе. Очистка производиться химическими методами путем окунания в жидкие реагенты. Автоматизация этого этапа технологии позволяет повысить производительность и обеспечить высокую безопасность работы персонала.

Система INLINE STAR®

Особенности:

  • INLINE STAR ® это система очистки для производства, а так же для научных исследований и разработок
  • Аккуратная транспортировка поли-и моно-кристаллических пластин с помощью конвейерной системе высокого уровня, что обеспечивает низкую степень поломки
  • Модульная конструкция системы
  • Низкое потребление реагентов и высокая производительность
  • Реализация новых идей или оптимизация уже существующих процессов
  • Исследование и тестирование новых технологий решений с помощью тестовых систем RAMGRABER
  • Однородные результаты очистки
  • Простота и удобство в обслуживании и очистке

Опции:

  • Приемный резервуар для горячей ДИ-воды
  • Выпускной датчик
  • Сбор данных процесса


Пересчитать
x