Оборудование полупроводниковой промышленности

Система жидкостной очистки Tempest

Технология жидкостной очистки является наиболее распространенным и экономически эффективным способом очистки водорастворимых или вступающих в химическую реакцию с водой отработанных технологических газов, причем данная технология основанная на физико-химических данных веществ является наиболее эффективной как с точки зрения полноты очистки так и экономической эффективности процесса.

Технология применяется для очистки большинства технологических газовых смесей используемых в процессах осаждения нитрида, травления металлов и для очистки кислотных газов.

Система Tempest является наиболее универсальной среди жидкостных скрубберов, многочисленные доработки существенно снизили ее энергоемкость и увеличили время непрерывной работы. Сотовый дизайн очистной колонны – запатентованное изобретение – позволяет обеспечить максимальное время контакта газа с водой в относительно небольшом объеме устройства. Эта же особенность позволяет минимизировать количество воды используемое системой. Особенности конструкции газовых вводов обеспечивают отсутствие контакта технологических газов с их поверхностью, тем самым обеспечивая максимальную непрерывную работоспособность среди систем применяющих данную технологию.

Возможность сегментирования реакционной колонны совместно с независимыми газовыми вводами позволяет применять систему для очистки несовместных газов с разных технологических процессов.

Функциональные особенности системы:

  • От 1 до 4 независимых входов;
  • Эффективная система самоочистки газовых вводов;
  • Минимальные эксплуатационные расходы;
  • Максимальная эффективность очистки водорастворимых и реагирующих с водой газовых смесей;
  • Эффективная очистка от твердых частиц;
  • Опция TMS;
  • Встроенное устройство рециркуляции воды;
  • Комплекс датчиков температуры, утечки воды и газа обеспечивают безопасность системы в соответствие со стандартами SEMI.
  • Программируемая система управления и отображения информации о текущем состоянии системы с предупредительной и аварийной сигнализацией;
  • Фронтальный доступ к обслуживанию системы минимизирует занимаемую площадь;
  • Встроенный интерфейс обеспечивающий дистанционный мониторинг системы и связь с основным оборудованием.

Инсталляционные требования:

  • Вытяжная вентиляция для газа: до 640 л/мин под давлением 2,5*102 - 1,2*103 Ра;
  • Азот газообразный: 6 - 8 атм., 10 л/мин;
  • Вода: 1,5 – 4 атм., 0,5-5 л/мин, 10-20°С, 5 МОм*см, РН= 5 – 10, Са, Mg менее 3,0 мг/л, максимальный размер частиц – 100 мкм, содержание твердых частиц не более 100ppm;
  • Кислотно-щелочной слив.

 
Название характеристики Значение
Электропитание 380В, 50Гц, 3 фазное
Потребляемая мощность в стационарном режиме 0,75 КВт
Количество независимых входов 1-4
Максимальный поток газа на каждый вход 125 л/мин
Входной/выходной фланец NW40
Вес 250 кг

Пересчитать
x