Оборудование полупроводниковой промышленности

Комбинированная система очистки Sirius

Комбинированная система очистки Sirius, аналогична по конструкции системе HOx с той разницей что вместо термического разложения отработанной газовой смеси в реакционной камере применяется высокочастотный плазменный разряд. Использование плазменного разряда позволяет увеличить температуру в реакционной камере для утилизации газов температура распада молекул которых превышает 1000°С (парниковые газы применяемые в процессах травления диэлектриков, очистки CVD реакторов).

Данная технология обеспечивает эффективную утилизацию наиболее трудноразлагаемых газов таких как CF4, C4F8, CH2F2, SF6, NF3 и др. предотвратив их ассоциацию после разложения.

В остальном технология очистки данных систем совпадает с системой HOx.

Функциональные особенности системы:

  • От 1 до 4 независимых входов;
  • До 320 л/мин входного потока отработанных технологических газов;
  • Автоматическая система поддержания плазменного разряда в реакционной зоне;
  • Запатентованный дизайн реакционной камеры обеспечивает распад до 99,9% молекул газа;
  • Опция TMS для предотвращения осаждения легкоконденсирующихся газов до реакционной камеры;
  • Программируемая система управления и отображения информации о текущем состоянии системы с предупредительной и аварийной сигнализацией;
  • Встроенный интерфейс обеспечивающий дистанционный мониторинг системы и связь с основным технологическим оборудованием;

Инсталляционные требования:

  • Вытяжная вентиляция для устройства: не менее 250 м3/час;
  • Вытяжная вентиляция для отвода очищенного газа: до 300 л/мин под давлением 2,5*102 - 1,2*103 Ра;
  • Азот газообразный: 6 - 8 атм.;
  • Вода: 1,5 – 4 атм.,10-30 °C, 3 л/мин, 5 Мом*см, РН= 5 – 10, Са, Mg менее 3.0 мг/л, максимальный размер частиц – 100 мкм, содержание твердых частиц не более 100 рpm;
  • Кислотно-щелочной слив;
  • Охлаждение (возможно циркуляционное – чиллер): вода, 4,1 – 6,9 атм., 25 л/мин, 18-25 °С, > 5Мом*см, РН= 6,5 – 8, максимальный размер частиц – 30 мкм.

 
Название характеристики Значение
Электропитание 380 В, 50 Гц, 3 фазное
Потребляемая мощность в стационарном режиме 5,0 КВт
Количество независимых входов 1-4
Максимальный поток газа на каждый вход 80 л/мин
Входной фланец NW40
Выходной фланец 75 мм
Вес 350 кг

Пересчитать
x