Оборудование полупроводниковой промышленности

Комбинированная система очистки HOx

Система очистки отработанных технологических газов HOx совмещает в себе технологию термического дожига и жидкостную очистку отработанных технологических газов. Эта система является наиболее универсальной для очистки пирофорных, кислотных, водо-растворимых и нерастворимых газовых смесей. Газовая смесь подается в высокотемпературную реакционную камеру, температура которой поддерживается посредством электрических нагревателей встроенной системой управления. Контролируемая подача воздуха стимулирует распад и окисление молекул газовой смеси.

Твердые продукты горения смываются водой, а газовая смесь попадает в контур жидкостной очистки, в котором обеспечивается доочистка водорастворимых газов и продуктов горения.

Система оснащена устройством рециркуляции воды, что существенно снижает водопотребление.

Данная система применима для большинства отработанных технологических газов за исключением смесей содержащих большие потоки водорода и парниковых газов температура распада молекул которых превышает 1000˚С.

Функциональные особенности системы:

  • От 1 до 4 независимых входов;
  • До 200 л/мин входного потока отработанных технологических газов;
  • Максимально экономичная система для комплексной очистки;
  • Минимальные сервисные и эксплуатационные расходы;
  • Автоматическая система поддержания температуры в реакционной зоне;
  • Запатентованный дизайн реакционной камеры обеспечивает максимальный распад молекул вводимых газов и предотвращает осаждение продуктов реакции внутри;
  • Встроенный вентилятор обеспечивает направленное движение газов и продуктов горения после реакционной камеры, предотвращая попадание твердых частиц в соты жидкостной ступени;
  • Сотовая конструкция жидкостной ступени и противоток воды и газа обеспечивает эффективное растворение водорастворимых газов и продуктов горения;
  • Опция TMS для предотвращения осаждения легкоконденсирующихся газов до реакционной камеры;
  • Программируемая система управления и отображения информации о текущем состоянии системы с предупредительной и аварийной сигнализацией;
  • Встроенный интерфейс обеспечивающий дистанционный мониторинг системы и связь с основным технологическим оборудованием.

Инсталляционные требования:

  • Вытяжная вентиляция для устройства: не менее 100 м3/час;
  • Вытяжная вентиляция для отвода очищенного газа: до 300 л/мин под давлением 2,5*102 - 1,2*103 Ра;
  • Азот газообразный: 6 - 8 атм.;
  • Вода: 1,5 – 4 атм.,10-30 °C, 6-8 л/мин, 5 Мом*см, РН= 5 – 10, Са, Mg менее 3,0 мг/л, максимальный размер частиц – 100 мкм, содержание твердых частиц не более 100 рpm;
  • Кислотно- щелочной слив.

 
Название характеристики Значение
Электропитание 380В, 50Гц, 3фазное
Потребляемая мощность в стационарном режиме 5,0 КВт
Количество независимых входов 1-4
Максимальный поток газа на каждый вход 50 л/мин
Время разогрева до стационарной температуры 60 мин
Входной фланец NW40
Выходной фланец 75 мм
Вес 400 кг

Пересчитать
x