Оборудование полупроводниковой промышленности

Термический адсорбер GRC M150

Технология утилизации отработанных технологических газов основана на термически стимулированной химической реакции отработанного технологического газа с многокомпонентным наполнителем картриджа адсорбера с образованием нейтральных химических соединений. Данная технология применима для большого количества технологических газов и является минимально энергозатратной при эксплуатации. Наличие специальных картриджей для определенных газов (арсин, аммиак) позволяют существенно повысить суммарный объем очистки отработанных технологических газовых смесей. Послойное заполнение картриджа неорганическими реагентами и автоматическое поддержание постоянной температурной зоны внутри адсорбера обеспечивают гарантированное протекание химической реакции при потоках газовых смесей не превышающих допустимые и невозможность последующей десорбции опасных газов из отработанного картриджа. Заполненный картридж подлежит утилизации в качестве твердого промышленного отхода, за исключением JY-типа, применяемого для утилизации арсина. Картриджи, содержащие оксиды мышьяка подлежат утилизации в соответствии с правилами утилизации отходов мышьяка установленными в РФ.

Функциональные особенности систем:

  • Минимальная занимаемая площадь;
  • Простота эксплуатации;
  • Опция нагрева входных магистралей для предотвращения их блокировки легкоконденсирующимися газами;
  • Различные входные размеры для картриджей специального применения не допускают возможности их неправильного использования;
  • Ввод в зону реакции кислорода воздуха в качестве катализатора химической реакции при очистке отработанных газов применяемых в ионной имплантации (модель М150i);
  • Встроенная система мониторинга состояния картриджа и простое устройство управления и отображения информации;
  • Встроенный сетевой интерфейс с поддержкой Ethernet протоколов для организации удаленного мониторинга системы и ее связи с технологическим оборудованием;
  • Система GRC M150i имеет специальное устройство создающее пониженное давление в форвакуумной магистрали для обеспечения принудительного протока отработанных технологических газов после процессов ионной имплантации через систему очистки.
  • Соответствие сертификатам: CE, SEMI.

Инсталляционные требования:

  • Температура окружающей среды: 5 - 40˚С;
  • Влажность: 30-95%;
  • Вытяжная вентиляция: не менее 200 м3/час;
  • Азот газообразный: 2,5 - 3,0 атм., 5 л/мин;
  • Сжатый воздух (для пневматики): 5 – 6 атм;
  • Дополнительно сжатый воздух (для опции i) – 3 л/мин.

 
Название характеристики Значение
Электропитание 380В, 50Гц, 3фазное
Потребляемая мощность в стационарном режиме 0,7-1 КВт, (1,08КВт - для опций TMS и i)
Минимальный поток газа 5 л/мин
Максимальный поток газа 60 л/мин
Емкость картриджа эквивалент 2500 л Сl2
Время разогрева до стационарной температуры 60 мин
Входной/выходной фланцы NW40
Вес с картриджем 204 кг, (211 кг – для опции TMS, 257 кг – для опции i)

Пересчитать
x