Oxford Instruments Plasma Technology предлагает уникальное семейство плазмохимических установок для решения задач реверсивной инженерии и анализа отказов микроэлектронных приборов.
Установки серии PlsamaPro FA предоставляют возможность проведения всего спектра процессов: от удаления пассивирующих слоев до удаления анизотропных оксидных слоев; исследования как отдельных кристаллов и радиоэлектронных приборов в корпусе, так и 300 мм пластин.
Дополнительная информация по системам доступна на сайте www.plasmasystem.ru