Оборудование полупроводниковой промышленности

Вакуумметры

Прочные, стабильные емкостные вакуумметры

Емкостные вакуумметры Brooks объединяют в себе все передовые разработки в данной области, что позволяет достичь максимальной надежности измерений, улучшить устойчивость диафрагмы к загрязнению, свести к минимуму уход показаний от номинальных значений и минимизировать тепловые эффекты. Результатом является исключительно надежное семейство емкостных датчиков давления для измерения вакуума.

Важное преимущество емкостных вакуумметров Brooks – передовой датчик Mark-IV. Камера датчика содержит поверхности, которые не используются в измерении давления. На этих поверхностях оседают загрязняющие частицы и конденсируются пары, не влияя на точность измерений датчика, резко снижая необходимость в повторной установке нуля и значительно увеличивая срок службы датчика.

Brooks предлагает цифровые емкостные вакуумметры, которые работают в широком динамическом диапазоне давлений с высокой точностью.

Серия XacTorr™ CMX (нагреваемые датчики)

Датчики серии XacTorr™ CMX используют запатентованную двойную зону нагрева для поддержания равномерности температуры 0,1°C. Датчик очень быстро восстанавливается после нагрева и фактически застрахован от изменений температуры окружающей среды. Доступны три рабочих температуры: 45°C, 100°C и 160°C с полномасштабным диапазоном измерений от 100 мТорр до 1000 Tорр.

Датчики имеют порт данных RS485, который позволяет на месте диагностировать и устранять неполадки, не нарушая связь с системой управления. Устройства XacTorr™ CMX доступны с интерфейсами RS485, DeviceNet или аналоговыми сигналами 0 - 10 В DC.

Модель Полный диапазон, Торр Рабочая темп.Измеряемый диапазон Точность (% от показания)1/1-100/1000 ТоррТемп. коэффициентВходы/выходы
CMX450,1; 0,5; 1; 2; 10; 20; 100; 1000454 десятка (от ПД)0,25 или 0,50 / 0,15 /0,25 0,002% ПД/°С(zero)/ 0,02% FX/°C (span)RS485, DeviceNet, аналоговый (9/15-выводной D разъем)
CMX1000,1; 0,5; 1; 2; 10; 20; 100; 10001004 десятка (от ПД)0,25 / 0,15 /0,25 0,002% ПД/°С(zero)/ 0,02% FX/°C (span)RS485, DeviceNet, аналоговый (9/15-выводной D разъем)
CMX1601; 2; 10; 20; 100; 10001604 десятка (от ПД)НД /0,25 или 0,35 /0,50 0,002% ПД/°С(zero)/ 0,02% FX/°C (span)RS485, DeviceNet, аналоговый (9/15-выводной D разъем)
НД – недоступен


Подраздел 3.2(2).png
Датчики серии CMC - это компактные, экономичные ненагреваемые емкостные вакуумметры, имеющие надежную цельносварную конструкцию и диафрагму Inconel®. Датчик имеет температурную компенсацию, чтобы минимизировать уход показаний из-за изменения температуры окружающей среды. Серия CMC доступна со шкалой в полном диапазоне от 10 Торр до 1000 Торр и имеет аналоговый вход /выход 0-10 В ПТ.

Модель Полный диапазон, Торр Рабочая темп.Измеряемый диапазон Точность (% от показания)Темп. коэффициентВходы/выходы
CMС10; 20; 50; 100; 200; 1000Без нагрева3,5 десятка (от ПД)0,25 или 0,500,005% ПД/°С(zero)/ 0,027% FX/°C (span)0-10 В


Пересчитать
x