Оборудование полупроводниковой промышленности

Другие категории

Плазменная обработка

Оборудование компании Yield Engineering Systems (YES) для плазменной модификации поверхности, очистки и снятия фоторезиста в производстве NEMS и MEMS устройств, биодатчиков и других приборов.

Типичные приложения:

  • удаление проявленных и непроявленных резистов
  • удаление полиамидов и органики
  • травление и подготовка поверхности
  • плазменная очистка поверхности в полупроводниковых и биологических производствах
  • снятие фоторезиста


Пересчитать
x