Оборудование полупроводниковой промышленности

Фотолитография

В современной технологии первое место для изготовления изделий микроэлектроники занимает фотолитография. На ее долю приходится более половины производственных затрат. Именно операции фотолитографии чаше всего определяют возможность получения того или иного полупроводникового прибора, особенно если размеры элементов топологии, а также толщины активных слоев близки к критическим, т.е. предельным для современного уровня развития фотолитографии.

Модульный принцип конструирования данного оборудования позволяет гибко изменять состав и характеристики систем, добиваясь максимальной функциональности при минимальных габаритах.


Пересчитать
x