Оборудование полупроводниковой промышленности

Установка для спрей-обработки в кислоте RamOS SAT®


Применение:

  • FEOL и BEOL очистка
  • Травление металлов: Al, AlSi, AlSiCu, Cu и т.д.
  • Все процессы с озоном
  • Удаление резиста
  • Удаление полимера
  • Проявление

Конфигурация

  1. Корпус установки Материал корпуса - полипропилен (PP) Возможны индивидуальные модификации. Возможно наличие внешнего электрического шкафа для лучшего доступа к зоне обслуживания.
  2. Рабочая камера Материал исполнения - перфторалкокси (PFA) Стандартные кассеты для полупроводниковых пластин, диаметром от 2” до 8”. Сменные держатели кассет (с низким или защитным профилями) в одном роторе. Ротор со скоростью вращения 1-1800 об/мин до 1-25 сбалансированной загрузки пластины Система трубопроводов из нержавеющей стали и перфторалкокси (PFA) Подключение для подачи: рабочих веществ, горячей/холодной ДИ воды (маленький и большой потоки), горячего/комнатной температуры азота, Озона (O3)
  3. Емкости для подачи реагента Изготовлены из различных материалов, в зависимости от реагента, состоят из резервуара и крышки Есть возможность нагрева реагента в емкости с помощью нагревателя до заданной пользователем температуры. При использовании нагретых реагентов сливная система установки оборудуется системой охлаждения с подключением к системе централизованной холодной воды пользователя. Питание резервуаров от центральной системы подачи химических реактивов с аналоговым датчиками уровня или от рабочей камеры. Дополнительное оптическое измерение уровня с помощью байпаса, который установлен снаружи резервуара. Защита от сухого прогона и датчик переполнения. Герметизированный резервуар для газа и жидкости. Для открытия не требуется отсоединение резервуара от трубок. Интегрированная функция рециркуляции для перемешивания. Модуль фильтрации с разъемом для фильтра. N2 продувка.
  4. Общее оборудование Вытяжная система резервуаров и технологических камер подключается к испарителю, охлаждающую воду к нему обеспечивает Заказчик.
  5. Система трубопроводов и технология процесса Все детали, контактирующие с реагентом, изготовлены из высококачественных материалов (например, нержавеющая сталь, перфторалкокси (PFA), политетрафторэтилен (PTFE)) и подходят для обработки полупроводниковых подложек. Скорость потока во время процесса составляет не менее 30 литров в минуту. Все трубопроводы, фильтры и насосы будут откалиброваны соответствующим образом. Смешивание различных используемых химических реагентов можно минимизировать посредством специально разработанной RamOS-концепции. Для циркуляции используются высокочистые центробежные насосы.
  6. Система нагрева ДИ воды 30 кВт при 400 В переменного тока, 3 фазы, 50 Гц, 0,4 – 13 гал/мин (GPM) Управление с помощью сенсорного дисплея Наличие ПВДФ-раструба в каждом нагревательном элементе Наличие предохранителя в каждом модуле нагрева и клапана сброса давления на входе и выходе из нагревателя
  7. Генератор озона Безметалловый генератор Озона оснащен системой непрерывного потока. Это законченная система является надежным инструментом для требований ультрачистой воды. Легкая установка, автоматическая настройка подключаемых устройств и монтаж в стойку стандартного размера. Система состоит из СО2 дозирования и распылительной подсистемы, а также из дозирования озона и подсистемы диспергатора озона. Кроме того, существует возможность непрерывного мониторинга озоном и технологическим резервуаром.
  8. Дополнительный периферийный аппарат для химического восстановления озона Для непрерывного разрушения газообразного озона. Специально разработан с учетом возможности содержания влаги и кислот (например, плавиковой кислоты) в газе-носителе.

Управление установкой

Система управления (на базе ПК с Windows 2000 (минимум), с лицензионным программным обеспечением).

Программирование машины осуществляется с помощью Simatic S7, визуализация - WinCC Flexible

Сенсорный монитор на передней панели машины.

Машина управляется и контролируется с помощью центрального процессора Siemens.

Весь процесс контроля, управления и диагностики системы выполняется центральным процессором (CPU).

  1. Программное обеспечение

    Три уровня доступа с различным паролем защиты

    Уровень “Оператор” позволяет выбрать рецепты и запустить процессы

    Уровень “Процесс” с дополнительной возможностью редактирования рецептов

    Уровень “Техническое Обслуживание” для целей обслуживания и сервиса

    Рецепты могут содержать по меньшей мере 20 программных шагов

    Возможность сохранения по меньшей мере 200 рецептов

    Опциональная система считывания штрих-кода

    Опциональный SECS/GEM интерфейс

  2. Проектирование программного обеспечения

    Используя экран сенсорной панели можно наблюдать рабочее состояние установки. С помощью него можно контролировать, управлять, редактировать состояние системы и процессов обработки.

    С помощью областей ввода и полей вывода можно наблюдать и контролировать параметры установки.

    Для того чтобы предотвратить несанкционированный доступ к установке, определенные кнопки и параметры защищены пользовательскими уровнями.

    Для целей контроля доступа реализовано управление пользователями с иерархическими уровнями.

    Программное обеспечение включает:

    • Цифровые блок-схемы программ
    • Multiple хранение рецептов
    • Простой процесс управления на английском языке
    • Все необходимые таймеры, регулируемые программным обеспечением
    • Шаги процесса и периодичность
    • Программируемая координация рецептов
    • Температуры резервуара
    • Также TP обеспечивает прямой доступ к клапанам, и ко всем цифровым входам и выходам

  3. Предупреждения

    При разблокировки сигнализации будет активирован звуковой сигнал и будет светиться кнопка "RESET".

    Автоматически на сенсорной панели будет показано сообщение об ошибке. Сообщение дает информацию о текущих неполадках установки. Текст сигнала неисправности можно увидеть на сенсорной панели.

    После устранения причины неисправности и нажатия кнопки "ACK", система будет возвращена в исходное состояние.

    Если срок сообщения об ошибке истек, оно будет сохранено в памяти, и установка будет работать в действующем режиме.

    На экране отображаются все положения датчика и команды оператора. Неактивные компоненты показаны белыми значками. Активные компоненты отображаются черными значками.

    Сигналы индикаторной лампочки сообщают обслуживающему персоналу о различных состояниях системы. Аварийные действия выполняются в соответствии со стандартами поставщика.

    Каждая обнаруженная неполадка и предупреждение будут сохранены во внутренней базе данных. Индикатор аварийных сигналов позволяет получить доступ к подробной информации о предупреждении.

  4. Режим обслуживания

    В режиме обслуживания можно индивидуально управлять одинарными клапанами и агрегатами. Защитные блокировки сохраняют силу. Здесь также может быть выполнена диагностика ошибок и разрешающие действия.

  5. Интерфейс для внешних сигналов

    2 независимых контакта (выхода):

    Аварийная остановка, Остановка оборудования, Отключение электропитания

    Утечка реактивов

    Согласно соглашению возможны дополнительные сигналы

  6. Управление рецептами

    Здесь можно создавать, редактировать и сохранять различные рецепты. Каждый рецепт может иметь несколько шагов. Здесь также можно настроить основные параметры.

  7. Подключение к SECS/GEM-интерфейсу

    Эта опция может быть предложена после спецификации интерфейса.


Пересчитать
x