Оборудование полупроводниковой промышленности

Другие категории

Оборудование для спрей-обработки с кассетной загрузкой

Оборудование для спрей-обработки с кассетной загрузкой

Принцип работы оборудования основан на специально разработанной технологии под названием: Ramgraber Optimal Spray Technology (RamOS). Данная технология позволяет обрабатывать группу полупроводниковых пластин в кассете. Рабочая камера имеет цилиндрическую форму, и ее конструкция обеспечивает надежную фиксацию стандартной кассеты на держателе ротора. Сопла (насадки) для подачи химических реагентов расположены на боковых стенках камеры. В сочетание с вращением кассеты это позволяет равномерно наносить и распределять реагента по всем поверхностям полупроводниковых пластин (лицевой и обратной). Обработка пластин осуществляется автоматически с последовательным выполнением шагов путем распыления химических веществ, распыления деионизированной воды, сушкой чистым фильтрованным азотом. Установка может иметь одну или несколько рабочих камер для различных технологических операций, таких как: очистка, травление, «взрывная» литография, обработка в сочетании с озоном и т.д. Скорость вращения кассеты программируется в рецепте оператором. Оборудование может обеспечивать как ручную загрузку/выгрузку кассеты, так и иметь модуль загрузки/выгрузки типа SMIF или FOUP, при запросе заказчика могут быть разработаны другие индивидуальные решения.

Применяемые конструкционные материалы, пригодные для работы с различной химией и озоном.

Установки имеют систему очистки и рециркуляции химикатов.

Оборудование предназначено для размещения в чистой комнате (100) и может быть смонтировано «в стену».

Система управления и пневмосистема интегрированы в корпус установки, и могут быть доступны из сервисной зоны.

Установки снабжены всеми необходимыми защитными блокировками (в случае утечки, аварии) с журналом регистрации и хранения данных, звуковыми и визуальными предупреждениями.

Система управления (на базе ПК с Windows 2000 (минимум), с лицензионным программным обеспечением) имеет многоуровневый доступ (технолог, сервис-инженер, оператор) с возможностью построения, редактирования рецепта процесса, диагностики системы и программного обеспечения, регистрации характеристик процесса, действий оператора с последующим статистическим анализом. А так же имеется один интерфейс для удаленного доступа к ПК для диагностики дистанционной системы.

Резервуары для химических реактивов интегрированы в корпус установки, с возможностью легкого доступа и замены.

Оборудование обеспечивает минимальное потребление химических веществ, деионизированной воды и азота.

Преимущества Ramgraber с RamOS технологией

High Flow RamOS дизайн: обеспечивает более стабильный процесс, увеличенный срок службы системы трубопроводов и гибкую конструкцию насадок.

Никаких фторопластовых (PTFE) камер: в конструкции RamOS используется тонколистовой материал (полипропилен (PP), поливинилиденфторид (PVDF), этилен-хлортрифторэтилен (ECTFE) или перфторалкокси (PFA)). Это обеспечивает более короткое время процесса для обработки “от сухого к сухому”, особенно для HF кислотных процессов (высокопористый политетрафторэтилен (PTFE)). Оптимальное изменение температуры, гладкие поверхности, без холодного формования и более высокие скорости.

При использовании Озона: безметалловый генератор озона от лучших производителей, озон может быть использован сразу же после включения (в большинстве аналогичных систем от других производителей требуется некоторое время, порядка 1 минуты, на подготовку).

Больше гибкости в конструировании шкафа управления, электрического шкафа, системы подачи реагентов, камеры, фильтров.

Особенности оборудования:


  • Современный дизайн собственной разработки для достижения наилучших результатов процесса
  • Непревзойденная спрей эффективность
  • Наилучшая в своем классе эффективность ополаскивания и сушки
  • Фактическое отсутствие перекрестного загрязнения химического состава
  • Оптимальный выбор материалов для работы с реагентами
  • Наивысшая стабильность ключевых параметров процесса
  • 100% немецкое производство

Характеристики оборудования:


  • Ручная загрузка или полностью автоматизированная обработка
  • Пластины 2"-12" и индивидуальные подложки
  • 150/200/300 мм возможные конфигурации ротора-держателя
  • Различные объемы обработки (13, 25, 26, 50, 52... пластин за процесс)
  • До 7 нагреваемых резервуаров
  • Однокамерная или многокамерная конструкции
  • Химическое смешивание и мониторинг в процессе (In-situ)
  • 95% деталей проточной части из нержавеющей стали
  • SECS/GEM интерфейс
  • Стандартная или специальная кассеты


Пересчитать
x