Оборудование полупроводниковой промышленности

Системы подачи реактивов


Для получения стабильных результатов и обеспечения высокоточной обработки пластин, важное значение имеют концентрация и доза химических реагентов, поступающих в рабочий объем технологического оборудования. Всеобщая автоматизация процессов нашла применение и на этом предварительном этапе технологического цикла. Системы подачи реактивов предназначены для оптимизации операции загрузки химических реактивов в различные типы систем, использующих жидкие вещества. Благодаря продуманному дизайну и системе контроля и управления за емкостями с веществами, системой подачи веществ в установку и системе безопасности и своевременного оповещения об аварийных ситуациях это оборудование является незаменимым для современного производства и лабораторий.

Система подачи реактивов CSS4 4xBarrel 60l


Особенности:

  • Обеспечивает подачу 4-х различных реактивов (60 л бочки) к оборудованию жидкостной химической обработки
  • Компактное расположение всех компонентов, миниатюрные размеры, большая производительность
  • Закрытая конструкция обеспечивает высокий стандарт безопасности
  • Оператор может легко обращаться с 60 л бочкой благодаря тележке на колесиках, которая идет с соответствующим транспортным средством бочки
  • Корпус из полипропилена (РР)
  • Тележка на колесиках для легкого обращения с бочкой
  • Управление с помощью кнопок
Опции:
  • Панель управления
  • Остальные опции после запроса

Система подачи реактивов CSS1 1xBarrel 200l


Особенности:

  • Подача химических реактивов от 200 л сменной бочки к оборудованию жидкостной химической обработки
  • Химическая система подачи как распределительная система
  • Компания RAMGRABER имеет сертификаты по хранению и мониторингу химических реактивов в соответствии с §19 I WHG и VbF и "TÜV Süddeutschland"
  • Полезный объем резервуара приблизительно 200 литров
  • Отдельные корпусные модули для электрической и пневматической систем
  • Контроль уровня «min» и «max» с помощью емкостного датчика
Опции:
  • Вентиляция и выпускной фильтр
  • Фильтрация
  • Остальные опции после Запроса

Система наполнения емкостей - для растворителей BFS9

Особенности:

  • Три ручных крана для растворителей
  • 1 кран для IPA/изопропилового спирта
  • 1 кран для метанола
  • 1 кран для ацетона
  • Материал - нержавеющая сталь


Пересчитать
x