Оборудование полупроводниковой промышленности

Модульное и ручное оборудование

В современной микроэлектронике, широко применяются групповые обработки в ваннах с различными реагентами и последующей отмывке в дионизованной воде. Без этих операций не обойдется ни лаборатория, ни производство. Благодаря модульности и продуманной конструкции эти системы могут комплектоваться любым количеством и типом ванн, такими как:

  • Ванна химической обработки (очистка)
  • Ванна химической обработки (травление)
  • Стоп-ванна
  • Ванна финишной промывки
  • Ванна каскадной промывки
  • Ванна для промывки с мегазвуком

Процессы обработки в каждой ванне тщательно контролируются и пользователь имеет возможность задавать различные параметры, на пример: температуру, время нагрева и охлаждения, время работы, давление подаваемого реагента, проводимость сливаемой воды для контроля качества очистки и т.д.

Модули могут поставляться как в виде встраиваемых систем, так и виде вытяжного шкафа. Это позволяет заказчику разместить на ограниченном пространстве лаборатории все необходимое.

Особенности:


  • Автономные модули с различным конфигурациями
  • Модульная конструкция обеспечивает максимальную гибкость и удовлетворяет любым требованиям Заказчика
  • Компактность
  • Простота и удобство обслуживания
  • Несколько сменных модулей

Опции:


  • Любое количество дополнительных модулей
  • Конфигурация по запросу


Пересчитать
x