Оборудование полупроводниковой промышленности

Автоматические системы

Автоматические системы химической обработки могут быть укомплектованы любыми типами модулей/ванн и любым их количеством. Системы (корпус, ванны, конструкционные компоненты) выполняются из различных материалов соответствующих применяемым реагентам заказчика, что позволяет обеспечить надежную и безопасную работу как оборудования, так и персонала. Полностью автоматизированная система загрузки/выгрузки и перемещения пластин между модулями исключает из процесса обработки человеческий фактор. Благодаря этому значительно возрастает стабильность качества обработки и безопасность производства.

Модель TIGER®

Особенности:


  • Установка сконструирована в виде вытяжного шкафа с вытяжным патрубком и регулируемым вытяжным воздушным клапаном
  • Возможность обработки пластин диметром 200 мм в стандартной кассете
  • Простота обслуживания
  • Оптимальные размеры
  • Короткое время замены ванны

Опции:


  • ДИ-водный пистолет
  • N2-пистолет
  • Дополнительные технологические ванны
  • Система дозирования
  • H2O2 впрыскивание
  • Запись данных процесса

Модель DEGLUE STAR®

Особенности:


  • Полностью автоматическая система для предварительной очистки и очистки от клея после резки Si слитков
  • Сначала все Si-слитки проходят предварительную очистку, затем клеящее вещество между слитком и держателем удаляется посредством химического/термического процесса.
  • Приблизительная производительность 2 слитка/час
  • Параллельная обработка 2-х слитков
  • Рама из нержавеющей стали
  • Корпус установки из полипропилена.

Опции:


  • Дополнительный промежуточный резервуар
  • Встроенный нагреватель для получения горячей ДИ-воды
  • Подача химических реагентов для отклеивания


Пересчитать
x