Оборудование полупроводниковой промышленности

Молекулярно-пучковая эпитаксия

ИНТЕК представляет оборудование компании Veeco.
С 1986 года Veeco производит компоненты и системы для молекулярно-пучковой эпитаксии и сейчас компания является признанным лидером отрасли.

  • Широкий набор источников
  • Ряд исследовательских установок (930, GenII, GenIII, Gen20)
  • Ряд промышленных установок (Gen200, Gen2000)
  • Кластерные системы с несколькими ростовыми камерами

Новое поколение систем Gen20, Gen200, Gen2000 выполнено по стандартам полупроводниковой индустрии и позволяет объединять вокруг одного роботизированного модуля несколько ростовых камер.

    Подложки Приложения
GEN10 1x3" III-V, II-VI,
нитриды,
оксиды
GEN20 1x3"
1x4"
3x2"
GEN200 1x8"
1x6"
4x4"
7x3"
14x2"
GEN2000 1x8"
7x6"
14x4"
23x3"
54x2"


Пересчитать
x