Оборудование полупроводниковой промышленности

Система TurboDisc K475 As/P MOCVD для приложений в области солнечной энергетики

Наиболее надежная платформа в отрасли, делает возможным получение наибольшего количества трехкаскадных солнечных элементов

  • Зарекомендовавшая себя на производстве платформа, позволяющая производителям трех-каскадных солнечных элементов получать наивысшую прибыль;
  • Технология TurboDisc обеспечивает низкие затраты на техническое обслуживание системы и тем самым делает полезное время работы системы самым высоким;
  • Наличие вакуумного шлюза позволяет минимизировать время холостого хода и увеличить выпуск продукции;
  • Контроль температуры на базе RealTemp 200 гарантирует точную воспроизводимость процесса;
  • FlowFlange делает возможным высочайшую однородность и ее воспроизводимость в целях высокого выхода продукции;
  • Модульный дизайн делает простым техническое обслуживание и модернизацию.

Система K475 As/P MOCVD от Veeco, разработанная для массового производства приборов на базе составных полупроводников, демонстрирует непревзойденный в других MOCVD технологиях уровень контроля процесса и надежность. Установка K475 позволяет реализовать надежное массовое производство трехкаскадных солнечных элементов. Вместе с интегрированной технологией прямого контроля температуры нагрева подложки RealTemp200 и быстрой коммутацией газовых потоков, нацеленной для получения резких границ интерфейсов, эта мощная система обеспечивает непревзойденное качество получаемого материала и технологическую эффективность, что является критичным для солнечных элементов с высоким КПД.

Используя ту же технологию, с помощью которой достигнута степень преобразования солнечной энергии с КПД в 40%, установка TurboDisc K475 имеет одно из самых высоких времен безотказной работы в отрасли, одну из самых низких стоимостей владения и наиболее высокую производительность.
Кроме того, модульная конструкция установки K475 обеспечивает легкость технического обслуживания и представляет удобную платформу для будущей модернизации.

Отличия у К475
Надежная технология Veeco TurboDisc гарантирует превосходную однородность, высокую производительность и исключительно высокий уровень выхода продукции. Прекрасная однородность достигается благодаря использованию настраиваемого фланца подачи газов FlowFlange™ в котором имеются раздельные зоны подачи с регулировкой каждого из потоков. Моделирование ламинарных потоков в реакторе обеспечивает превосходную устойчивость и воспроизводимость свойств материала и так же долгое время между ближайшими операциями технического обслуживания.

Высокая производительность достигается благодаря единственной в своем роде системы передачи горячего подложкодержателя. Подложкодержатель может быть загружен в любой момент, в то время как реактор находится в условиях вакуума. Автоматическая система передачи подложкодержателей функционирует приблизительно при температуре в 300°С и при этом не требуется замены каких либо ее частей во время между процессами роста.

Система TurboDisc K475 MOCVD разработана что бы предложить непревзойденные параметры получаемого материала. Быстро вращающийся диск гарантирует тонкий граничный слой, что в свою очередь минимизирует диффузию в газовой фазе и обеспечивает очень резкие границы интерфейсов. Это снижает авто легирование германия, которое влияет на время жизни неосновных носителей. Резкие границы дают высококачественные туннельные переходы, которые нужны для низкого сопротивления. Быстрые скорости изменения температуры и высокие скорости роста являются уникальным преимуществом, реализованном в TurboDisc K475. Это приводит к снижению продолжительности циклов и улучшает термическую стойкость устройства.

Преимущества Veeco
Ведущий в отрасли поставщик оборудования с гибкими решениями для каждой стадии производства составных полупроводников Исследование поверхности подложки на атомарном уровне с помощью метрологического оборудования Veeco Более 20 филиалов по всему миру, обеспечивающих сервис на данной территории, включая склады запчастей и сервис инженеров, которые могут быть вызваны для производства регламентных работ.
Возможно прямое сопровождение и поддержка технологического процесса из собственной лаборатории корпорации Veeco по прикладных исследованиям.
Корпорация Veeco является надежным, совершенным и финансово устойчивым партнером.


Пересчитать
x