Оборудование полупроводниковой промышленности

Другие категории

Измерения электрических характеристик

Измерение электрических параметров является самым необходимым и информативным шагом при разработке и производстве полупроводниковых приборов. Для контроля параметров изделий требуется проводить измерения не только в конце технологического цикла, но и на многих промежуточных операциях.

Удельное сопротивление является основной электрической характеристикой любого электротехнического материала (проводникового, электроизоляционного и полупроводникового). Именно уд. сопротивление позволяет получить информацию и об остальных важных параметрах как однородного материала так и уже сформированной структур.

В данном разделе представлены два метода измерений: классический контактный метод и современный бесконтактный.


Пересчитать
x