Оборудование полупроводниковой промышленности

Наноимпринт

Наноимпринт является одной из перспективных технологий, которая позволяет получить топологии с размерами на уровне десятков нанометров при минимальных затратах. Этот метод основывается на получении реплики путем вдавливании в слой резиста специального штампа (пресс-формы), на поверхности которого создана нано-топология с необходимыми размерами. Чаще всего, штампы изготавливают из пластин кремния или плавленого кварца, металлических и полимерных пластин.

С помощью наноимпринта можно получать наноструктуры размером менее 10 нм на достаточно больших площадях, что недоступно для всех других методов литографии.

Данный метод литографии является весьма перспективным и дешевым для промышленного, высокопроизводительного изготовления приборов микроэлектроники с высоким разрешением.


Пересчитать
x