Оборудование полупроводниковой промышленности

Имитация космического пространства

Одним из приоритетных направлений деятельности компании Интек Аналитика является имитация космического пространства для проведения различных испытаний.

На сегодняшний день нет практически ни одного элемента космических летательных аппаратов, которые не проходили бы каких-либо испытаний в вакууме. Это и конструкционные материалы, испытываемые ещё в процессе их синтеза; и отдельные узлы летательного аппарата, включая скафандры, научную аппаратуру, двигатели; и летательный аппарат целиком, подвергающийся температурным, радиационным, вибрационным и ряду других испытаний.

Моделирование космического пространства (вакуума) в земных условиях сопряжено с рядом трудностей. Прежде всего, это получение высокого и сверхвысокого вакуума 10-3…10-5 Па в больших объемах (до нескольких тысяч кубических метров), и поддержание заданного давления в течение всего времени испытаний, которое может достигать 10000 часов. Также в последнее время ужесточились требования и к качеству вакуума: он не должен содержать продукты, которые содержатся в используемых средствах откачки, т.е. должен быть полностью «безмасляным». Последнее обстоятельство связано с тем, что присутствие таких продуктов приводит к изменению параметров вакуумной среды, условий испытаний и получению недостоверных результатов.

Для получения «сухого» безмасляного вакуума в настоящее время используются:

  • форвакуумные винтовые и винтовые насосы – самостоятельно или в комбинации с двухроторными механическими насосами типа Рутс, имеющие скорость откачки до 30 000 м3/ч;
  • турбомолекулярные насосы с ротором на магнитном подвесе и скоростью откачки до 4500 л/с;
  • криогенные насосы, работающие по циклу Гиффорда – Мак Магона, обеспечивающие абсолютно безмасляный вакуум и скорости откачки по воздуху до 67 000 л/с и выше.

Большой опыт работы с вакуумным и технологическим оборудованием позволяет решать задачи широкого спектра: от простой модернизации отдельных элементов вакуумных систем до проектирования и поставки нестандартной системы по требованиям Заказчика «под ключ».

В проектах по модернизации и проектированию используется опыт как отечественных, так и зарубежных разработок, а использование самого современного вакуумного и технологического оборудования наиболее известных производителей – Edwards, HSR, VAT, Julabo, PlugIn и др. – определяет надежность и долговечность комплексов, что особенно важно при ответственных ресурсных испытаниях.

Вакуумные камеры

Сейчас компания Интек поставляет новые и модернизирует существующие камеры имитации космического пространства. Компанией выполнен большой объём работы и накоплен опыт в области модернизации существующих камер космического пространства объемом от 1 до 1600 куб.м. Идёт работа по модернизации камеры большего объема. К области компетенции наших специалистов относится:
  1. Проектирование, изготовление, поставка и обслуживание многоступенчатых сухих вакуумных систем:
    • замена существующих масляных и водокольцевых вакуумных насосов на безмасляные винтовые и насосы Рутса;
    • замена диффузионных и сублимационных насосов на турбомолекулярные и криогенные детандерные вакуумные насосы.
  2. Проектирование и модернизация технологических систем:
    • разработка и модернизация систем перемещений и юстировки объекта вакуумных испытаний;
    • разработка, изготовление и модернизация внутрикамерной оснастки, нестандартных электрических, газовых и жидкостных вводов;
    • системы поддержания тепла и холода;
    • системы имитации солнечного излучения;
    • системы виброзащиты;
    • системы течеискания и газового анализа.
  3. Автоматизация откачки и технологических операций:
    • разработка и модернизация системы автоматической вакуумной откачки;
    • полная автоматизация технологических операций;
    • система автоматического распределения и подачи воздушно-гелиевых смесей;
    • автоматизация поиска течей в объекте испытаний.

Компания Интек предлагает стандартный ряд новых камер имитации космического пространства объемом от 1 до 16 куб.м и нестандартные большего объема.

Основные характеристики:

  • объем рабочего пространства: 0,5..16 куб.м;
  • предельное давление: < 10-6 мбар;
  • диапазон регулирования температуры: от – 180 до 220 гр.Ц;
  • точность поддержания температуры в объёме или на термоплите: < 2 гр.Ц;
  • камеры могут оснащаться дополнительными испытательными системами.

Оборудование

Криогенные насосы больших типоразмеров компании HSR Крионасосы для специальных применений компании HSR Сухие вакуумные насосы GXS

Пересчитать
x