Оборудование полупроводниковой промышленности

СИСТЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ ЭФФЕКТА ХОЛЛА

  • Модель HMS5500/ АМР55Т (низкотемпературный)
  • Система для измерений при изменении температуры: 80 ~ 350К
  • Модель HMS5500 может быть укомплектована двумя модулями магнитов для измерений при низких и при высоких температурах (АМР55Т и АМР55Т5)
  • Модель HMS-S5500/ АМР55Т5 (высокотемпературный)
  • Система для измерений при изменении температуры: RT ~ 773К
  • Модель HMS-S5500 может быть укомплектована двумя модулями магнитов для измерений при низких и при высоких температурах (АМР55Т и АМР55Т5)

КОНСТРУКЦИЯ

1. Основные модули:
  • источник постоянного тока и ячейка для измерения по методу Ван дер Пау
2. Набор магнитов 0,55Т (модель АРМ55) включает:
  • Постоянные магниты с плотность магнитного потока 0.55T
  • Контактная плата
  • Нагревательный модуль
  • LN2 емкость (цилиндрическая LN2 и квадратная LN2 емкости)
  • Температурный сенсор.

Держатель образца состоит из:
  • цилиндрическая емкость LN2,
  • тестовая плата,
  • температурный датчик,
  • нагреватель,
  • магнитная крышка,
  • кабель

AMP набор магнитов вид сверху
  • моторизированный контроллер магнитов,
  • цилиндрическая емкость LN2,
  • магнитная крышка,
  • кабель.
3. Тестовая плата с крышкой для измерений только при комнатной температуре RTSK-5000
  • Дополнительные опции (не включено в стандартный набор HMS5500)

  • При измерениях при комнатной температуре и азоте можно использовать этот опциональный набор держателя вместо стандартного AMP55.
4. Модуль магнитов AHT55T5

  • Перемещение магнитов автоматическое
  • Постоянные магниты с плотность магнитного потока 0.55T
  • Программируемый нагрев в диапазоне от комнатной температуры до 500°С (773К)
  • Предусмотрена возможность напуска газа в небольшой измерительный объем. Газовый распределительный клапан – опция
  • Для проведения измерений в газовой атмосфере необходимо сначала установить образец на держателе в модуль магнитов, за тем напустить Азот в измерительный объем для исключения окисления при измерениях при высоких температурах. Измерительный объем так же помогает поддерживать постоянную температуру вокруг образца (исключается влияние потоков воздуха создаваемых перемещением магнитов).

5. Программное обеспечение


Интерфейс программного обеспечения для HMS-5500


Зависимости I-V и I-R при различных температурах

Зависимость подвижности от температуры

Зависимость коэффициента Холла от температуры

Зависимость концентрации от температуры

Зависимость уд. сопротивления от температуры

Зависимость уд. проводимости от температуры

2. СТАНДАРТНАЯ СПЕЦИФИКАЦИЯ УСТАНОВКИ

1. Общая спецификация
1) Основные характеристики
Ток вхУд. сопротивление(Ωㆍ㎝)Концентрация (1/см3)Подвижность(см3/В*с)Плотность магнитного потока (T)Температура (K)Тестовая плата
1nA - 20µA10-4~107107~10211~1070.55Для магнитов AMP55T 80~350K, для магнитов AHT55T5 RT~773K ±1°C5 x 5 ~ 20 x 20 мм и Толщина образца менее 2 мм.
2) Измеряемая структура - 3D образец
3) Операционная система Windows 98 / ME / 2000 / NT / XP / VISTA
4) Измеряемые параметры
  • объемная и слоевая концентрация носителей заряда
  • удельное сопротивление
  • подвижность, коэффициент Холла
  • магнито-сопротивление
  • альфа (вертикальное/горизонтальное соотношение сопротивление)
5) Габариты
измеритель 440х420х140 мм (Ш×В×Д), вес: 8,5 кг
модуль с магнитами АМР55Т 700х220х280 мм, вес 15,5 кг
модуль с магнитами AHT55Т5 670х210х250 мм, вес 15 кг
6) Измеряемые материалы
Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO (включая ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO и другие полупроводниковые материалы (N/P-типов)

Пересчитать
x