Оборудование полупроводниковой промышленности

Другие категории

Аксессуары

Аксессуары

МИКРОПОЗИЦИОНЕРЫ

Микропозиционеры (зондовые головки) являются одной из самых важных частей зондовой станции. Высокоточные микропозиционеры позволяют проводить измерения на микро расстояниях и устанавливать электрический контакт со структурами, отдельными чипами и приборами. Зондовая головка оснащена специальной упругой пластиной, которая защищает поверхность образца от повреждений при движении по оси Z. Удобная конструкция обеспечивает легкость и комфорт при работе с этими микропозиционерами.

1. Модель ЕМР-7

2. Модель ЕМР-9
данная модель оборудована микрометрами для перемещения по X, Y, Z

3. Конструкция микропозиционера

  1. Крепления держателя зонда
  2. Высокоточный контроль перемещения по Z (5 мкм/шаг)
  3. Высокоточный контроль перемещения по Х (5 мкм/поворот)
  4. Высокоточный контроль перемещения по Y (10 мкм/поворот)
  5. Основное тело микропозиционера
  6. Магнитное основание для фиксирования микропозиционера на платформе зондовой станции
  7. Держатель зонда (эластичный)
  8. Зонд

4. Спецификация

НаименованиеПараметрСпецификация
Микропозиционеры:
Модель ЕМР-7
Модель ЕМР-9
Перемещение X,Y,Z
Шаг винта
Повторяемость
Габариты
Вес
10*10*10 мм
5 мкм/шаг
1 мкм
70*28 мм
230 гр
- Используйте упругий механизм в середине держателя зонда, чтобы защитить образец от повреждения во время движения по Z.
- Используйте постоянный магнит для того, чтобы установить микропозиционер на платформе зондовой станции.

5. Модель ЕМР-11

Спецификация:

  • X-Y-Z перемещение 10×10×10 мм
  • зондовая рука фиксируется с помощью болта
  • разрешение 3 мам
  • уровень тока утечки менее 300 fA
  • магнитная или вакуумная фиксация микропозиционера.

6. Кабели
Держатель зонда с кабелем


Держатель зонда с BNC кабелем

Держатель зонда с трехслойным кабелем

7. Зонды

АКСЕССУАРЫ ДЛЯ ЗОНДОВЫХ СТАНЦИЙ

1. Фотодетектор
  • Для измерений необходимы источник света и кабель
  • Образец с фотоприборами освещается и снимается значение тока
2. Сфера для измерения световых характеристик светодиодов
  • Интегральная сфера может быть установлена как сверху, так и снизу рабочего столика для измерения различных светодиодных структур и приборов
3. Держатель образцов с возможностью нагрева и охлаждения
  • температурный диапазон от 80К до 300°С
  • точность задания температуры ±0,1°С

4. Вакуумная камера
  • вакуум до 8 x 10-3 тор
  • размеры камеры согласовываются при заказе и обсуждении конфигурации зондовой станции

5. Емкость для азота
  • для измерений при охлаждении
  • емкости LN2 для азота (объем по заказу)
6. Микроскоп
  • зондовые станции могут быть укомплектованы различными микроскопами в зависимости от требований заказчика
  • CCD камера и др.
7. Защитный бокс
  • для проведения измерения в изолированном от окружающей среды боксе
  • Габариты 750х660х660 мм
  • материал – нержавеющая сталь

8. Антивибрационный стол
  • для защиты измерений от вибрации
  • модель, размеры и материал зависит от конфигурации зондовой станции

Пересчитать
x