НОВОСТИ

	

Расширенные возможности плазменной диагностики

29.06.2015
Расширенные возможности плазменной диагностики

Масс-спектрометрическая система Hiden EQP - исследовательский инструмент, специально разработанный и усовершенствованный для плазменной диагностики, обеспечивающий анализ массы и энергии положительных и отрицательных ионов наряду с измерениями нейтральных частиц.

Теперь операционная программа MASsoft для исследований импульсной плазмы обладает интегральной и инновационной функцией мультиканального скалирования. Интегрированные в схему таймеры обеспечивают управление стробированием в реальном времени, открытием/закрытием и шагом селекторного стробирующего импульса с временным разрешением всего 50 наносекунда.

Система с дифференциальной откачкой совершенствуется вокруг высокоэффективного квадрупольного масс-спектрометра Hiden с тройным фильтром и включает 45˚ электростатический секторный анализатор энергий и счетный детектор импульсов наряду с ионизатором с электронной бомбардировкой для анализа нейтральных частиц, исследования присоединения электронов и детектирования течей. Концепция мульти-сканирования позволяет задавать все индивидуальные параметры управления, с функцией автоматической настройки, которая обеспечивает автоматическую оптимизацию запуска системы в соответствии со специфическими условиями рабочей среды.

Системы предлагаются с одно-, двух- или трехступенчатой дифференциальной откачкой для обеспечения давления от микробара до 5 бар.