Оборудование полупроводниковой промышленности

Контактный метод измерения электрических характеристик

Система измерения методом Холла предназначена для измерения концентрации и подвижности носителей заряда, удельного сопротивления и эффекта Холла, которые необходимо предварительно измерить для определения электрических характеристик изготавливаемого полупроводникового прибора. По этому серия установок Ecopia HMS являются незаменимыми измерительным инструментами при разработке, отладке и производстве полупроводниковых структур, чипов и приборов. В состав измерительной системы входят: источник постоянного тока, терминал преобразовательной системы на основе технологии Ван дер Пау, тестовая система для измерения при низкой температуре (77K) и система магнитов с фиксированной плотностью магнитного потока. Эти части составляют стандартную установку для измерения методом Холла. Более современные серии моделей (5000 и 7000) предоставляют пользователю более широкие возможности измерений зависимостей параметров от: температуры и длины волны освещения.


Пересчитать
x